本发明涉及一种用于换能器级联的超声波电源，所述超声波电源包括整流桥、滤波电路、直流斩波电路、全桥逆变电路、第一阻抗无级匹配网络、第二阻抗无级匹配网络、第一换能器、第二换能器、匹配网络控制电路、电压电流采样电路、频率跟踪电路、功率恒定电路。匹配网络控制电路控制第一、第二阻抗无级匹配网络接入逆变输出电路的匹配电感大小。全桥逆变电路的输出电压、电流经过采样电路，接入频率跟踪电路和功率恒定电路，频率跟踪电路控制全桥逆变频率，功率恒定电路控制直流斩波电路输出电压大小。本发明的频率跟踪电路与第一、第二阻抗无级匹配网络的共同作用可以保证换能器级联的正常工作，改变以往单逆变器单换能器的运行模式。