本发明属于薄膜体声波谐振器的技术领域，公开了一种薄膜体声波谐振器及其背电极的引出方法。所述薄膜体声波谐振器包括衬底，衬底上依次设置有背电极和压电层，衬底的表面设有凹槽，背电极和衬底表面的凹槽形成空气腔，压电层设有通孔，通孔的下方为背电极，通孔一侧的压电层上设有顶电极，通孔的另一侧以及通孔中设有背电极材料。背电极引出方法主要是在压电薄膜上制备通孔，通孔的下方为背电极，通孔一侧的压电薄膜上沉积顶电极，通孔另一侧的压电薄膜上以及通孔中沉积有背电极材料，背电极通过通孔引出。本发明免去了大面积刻蚀压电薄膜，对薄膜损伤较小；通孔引出电极易覆盖；且本发明可减小器件尺寸，降低功耗和提升性能。