本实用新型公开了一种新型FBAR滤波器。该FBAR滤波器，由n个谐振器级联而成；谐振器包括支撑衬底、空气腔支撑层、底电极、种子层、压电薄膜结构层、顶电极；两个空气腔支撑层层叠在支撑衬底上，底电极分别与这两个空气腔支撑层连接，底电极、空气腔支撑层及支撑衬底围成空腔；种子层层叠在底电极和空气腔支撑层上；压电薄膜结构层、顶电极依次层叠在种子层上。本实用新型先通过在衬底上挖凹槽再生长压电材料的方法，有效避免因生长整层压电薄膜导致应力过大产生裂纹的问题，降低了压电薄膜的应力，同时因每个谐振单元的压电薄膜不连续，有效避免了能量的横向传输造成能量损失的问题，还可以抑制杂波，提高了滤波器的制备良率和性能。