本发明公开了一种采用预充电技术的RC振荡器，该RC振荡器电路包括主振荡器电路和预充电控制电路，所述主振荡器电路完成对电容的充放电以及提供振荡器电路的输出信号。所述的预充电控制电路对主振荡器电路中的环路延时进行测量，并通过控制电路控制主振荡器的充电过程，使得在对电容组的其中一条支路充电完成时，能立即开始对另一条支路开始充电，而无需经历延时。在延时时间结束后，测量电路触发控制电路控制主振荡器回到正常的充电模式；经预充电控制电路控制主振荡器电路的工作方式，可以实现电容两条支路充电没有时间间隔，使得振荡器的振荡周期不包含环路延时，从而补偿了环路延时对振荡器振荡周期的影响，提高了输出频率的精度。