本发明公开了一种基于薄膜晶体管的开关电容比较器、方法及芯片，其中比较器包括反相器模块、开关模块、第一电容和第二电容，所述开关模块包括第一薄膜晶体管、第二薄膜晶体管和第三薄膜晶体管；所述第三薄膜晶体管的源极分别与第一薄膜晶体管的源极、第一电容的一端和第二电容的一端连接，所述第一薄膜晶体管的漏极连接参考电压，所述第二电容的另一端分别与反相器模块的输入端和第二薄膜晶体管的漏极连接，所述第二薄膜晶体管的源极与反相器模块的输出端连接。本发明采用三个薄膜晶体管作为开关，通过外部时钟信号有效地控制开关的导通和闭合，将比较器的工作过程区分为了采样过程和比较过程，提高了比较器的分辨率，可广泛应用于集成电路领域。