本实用新型涉及一种扫查反演装置及三维成像设备，通过以任意角度和任意移动方向在被测物表面进行多次移动扫查，每次扫查被测物的局部信息，通过将多次移动扫查的数据输出至图像生成装置实现被测物的三维图反演，相对于现有技术，本实用新型直观地实现对被测物的内部缺陷的检测，具有结构简单、便携、方便手持的特点。