本实用新型公开了一种基于XYZ轴滑台的曲面力控制轮廓跟随装置，包括跟随装置本体部分、视觉检测部分及控制部分；所述跟随装置本体部分包括三个相同的伺服滚珠丝杠直线滑台构成XYZ轴三向滑台，本实用新型通过六维力/力矩传感器以及工业相机组成检测反馈部分，既要末端在不规则曲面执行预定的运动轨迹，又要控制末端探头与曲面的接触力在可控范围，而且探头的姿态时刻保持与曲面的切面垂直。该装置能够高速精确进给移动，而且运动自由度有沿xyz轴以及绕z轴旋转，满足大多数情况下的曲面跟随移动，并能精确控制与曲面的接触力。