本发明公开了一种ＦＰＣ制造关键工序自动监控与智能分析系统，包括工序监控触发模块、数据采集模块、数据存储模块、数据智能分析模块、评价模块。通过所述的工序监控触发模块、数据采集模块、数据存储模块、数据智能分析模块、评价模块可有效解决通过ＦＰＣ精细线路的线宽、线距等物理参数和主要ＦＰＣ缺陷类型如导线锯齿、线路缺少、残铜等的监控和分析，实现对ＦＰＣ制造关键工序的工作健康状况的判断和评价，对工序异常情况做到及早的预防和控制，从而提高整个ＦＰＣ制造过程的稳定性、效率和产品良率。