本发明公开了一种柔性IC基板蚀刻显影工艺过程的在线监控方法中，步骤：收集工艺过程中正常的历史数据集X，归一化得到采用KPCA模型提取出的非线性主元矩阵T，对SVDD模型进行训练；非线性主元矩阵T中所有极限点构成极限点数据集；在线采集检测数据y，归一化得进行以下检测：由当前KPCA模型提取出的非线性主元z′，输入至当前SVDD模型计算统计量，判定出y是否正常；若正常，对当前KPCA模型进行更新，若正常且z′为极限点，则更新极限点数据集；由更新后的极限点数据集对当前SVDD模型进行训练；当下一次在线采集到检测数据时，归一化后重复执行上述检测。本发明能够实现快速且准确的在线监控。