一种多自由度柔顺并联机构拓扑优化方法，包含以下顺序的步骤：将柔顺并联机构的运动链设为拓扑优化问题的设计域，建立各运动链的柔度矩阵并将其组装成柔顺并联机构的刚度矩阵；根据机构的刚度矩阵导出输入输出点的刚度和运动传递关系，建立拓扑优化模型对运动链进行优化。本发明的方法，可用于综合平面１至３自由度、空间２至６自由度、冗余驱动等柔顺并联机构；无需参考现有刚性机构就可根据设计问题得到性能最优的拓扑，且拓扑独特新颖，丰富了柔顺并联机构的拓扑类型。