本发明公开了一种基于PSO算法的压电微驱动变频定位平台建模辨识方法，针对基于压电陶瓷驱动器的压电微驱动变频定位平台，通过激光位移传感器测量不同频率电压信号激励下压电陶瓷驱动器在垂直方向上的位移；采用rate?dependentPrandtl?Ishlinskii迟滞模型对压电陶瓷驱动器的率相关对称迟滞特性进行建模，以描述涉及内部迟滞和频率之间耦合效应的强非线性，并基于Hammerstein级联结构建立了“迟滞+线性”的压电微驱动变频定位系统的内部动态模型；采用优化型PSO算法对压电微驱动变频定位平台系统模型进行辨识，该辨识算法克服了经典PSO算法易陷入局部最优，收敛性差等缺陷，保证了辨识的精确度和模型的有效性。