本发明公开了一种生长在GaAs衬底上的InAs量子点,由下至上依次包括GaAs衬底、InAs量子点层、GaAs盖层和In纳米结构层。本发明的另一目的在于提供上述生长在GaAs衬底上的InAs量子的制备方法:(1)对GaAs衬底进行清洗;(2)对GaAs衬底进行除气和脱氧预处理;(3)在GaAs衬底上生长InAs量子点层:(4)在InAs量子点层上覆盖GaAs盖层;(5)在GaAs盖层表面沉积In纳米结构层。本发明制备的生长在GaAs衬底上的InAs量子点,极大提高了InAs量子点的光致发光强度,且制备方法简单、成本较低,是一种制备强光致发光强度的高密度InAs量子点的有效方法。
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