本发明公开了一种钝化层及其制备方法、柔性薄膜晶体管及其制备方法、阵列基板。本发明的钝化层为熔点低于100℃的疏水性物质所形成的自组装单层膜。本发明的柔性薄膜晶体管包括柔性衬底、栅电极、栅介质层、有源层、源?漏电极层和本发明的钝化层。本发明采用熔点低于100℃的疏水性物质进行自组装形成单层膜作为柔性薄膜晶体管的钝化层，自组装过程中处理温度低，形成的钝化层致密度高，避免了柔性薄膜晶体管的背沟道与大气中水和氧气直接接触，柔性薄膜晶体管的电学性能和稳定性均显著提升。