本实用新型公开了一种基于压电泵的主动式控温冷却装置,包括蒸发器(3)、冷凝器(5)、散热片(1)、压电泵(4)和导管(2),蒸发器(3)的入口端通过导管(2)与压电泵(4)相连接,压电泵(4)通过导管(2)与冷凝器(5)的出口端连接;蒸发器(3)的出口端通过导管(2)与冷凝器(5)的入口端连接;散热片(1)安装于冷凝器(5)上,蒸发器(3)紧贴于微电子元器件上;蒸发器(3)与冷凝器(5)内装有可在两者中相互流通的液体工质。该冷却装置主要应用于微电子元器件、大功率LED灯等的散热,装置结构及控制简单、成本低廉、制造方便,散热效率高,易于实现产业化。
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