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适用于35GHz交流频率下工作的GaN整流器及其制备方法
交易价格:面谈
所属类型
发明专利
所属行业
H01-基本电器元件
所属国家
所属地域
PCT项
交易方式
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  • PCT项
CN2017113516591
2017-12-15
发明专利
适用于35GHz交流频率下工作的GaN整流器及其制备方法
华南理工大学
已授权

本发明公开了适用于35GHz交流频率下工作的GaN整流器的制备方法:在硅衬底上依次生长N极性面GaN缓冲层、碳掺杂半绝缘化N极性面GaN层、非掺杂N极性面AlGaN层、非掺杂N极性面GaN层和非掺杂N极性面InGaN薄膜,得到整流器外延片;在GaN整流器外延上制备肖特基接触电极图案凹槽,并在凹槽中沉积肖特基接触电极;制备欧姆接触电极图案,并在外延片表面沉积器件欧姆接触电极;随后在外延片表面无电极部分沉积氮化硅钝化层,制备表面电极区域;最后再对GaN整流器外延片进行台面隔离处理。本发明实现了高频GaN整流器的制备,提高整流器件在大功率工作下的性能稳定性。

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