本实用新型属于薄膜晶体管技术领域,公开了一种类岛状电子传输的薄膜晶体管。所述薄膜晶体管由衬底上依次设置的栅极、栅极绝缘层、有源层和源漏电极构成;所述有源层为非连续的类岛状TCO薄膜和低载流子浓度材料薄膜组成的叠层结构,其中低载流子浓度材料薄膜连接相邻两个类岛状TCO薄膜,形成一个导电通道。本实用新型采用非连续的类岛状TCO薄膜能够有效降低其导电性,而低载流子的薄膜连接两个相邻TCO薄膜,使电子能够在相邻晶粒间有效传输并且维持一个理想的关态电流。
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