本实用新型属于微电子器件技术领域,公开了一种MoS2基量子阱型调制掺杂场效应晶体管。MoS2基量子阱型调制掺杂场效应晶体管自下至上依次包括衬底、AlN缓冲层、AlGaN缓冲层、GaN层、量子阱型结构层,所述量子阱型结构层为MoS2xSe2(1?x)层/MoS2层/MoS2xSe2(1?x)层;所述量子阱型结构层的上方设有源电极、漏电极和栅电极;栅电极设置在源电极和漏电极之间。本实用新型采用量子阱型结构,在此结构中存在两个平行的异质界面,最大电流薄层和电流都加倍;MoS2沟道层夹在两个势垒之间,能够更好地限制载流子。总之,本实用新型的晶体管具有优异的性能。
咨询热线:020-38033421
传真号码:020-38061201
电子邮箱:jm@jiaquanip.cn
Copyright © 嘉权专利商标事务所 All Rights Reserved. 粤ICP备2023151901号