本发明实施例公开了一种薄膜晶体管、显示面板及薄膜晶体管的制作方法。该薄膜晶体管包括：有源层设置于玻璃基板表面，源极和漏极与有源层连接；第一绝缘层，设置于有源层远离玻璃基板的一侧；栅极层，设置于第一绝缘层远离玻璃基板的一侧；第二绝缘层覆盖源极、漏极和栅极层，第二绝缘层上设置有通孔，通孔裸露出源极和漏极；有源层采用的材料为(MO)x(RO)y(TO)z，其中0<x<1，0.0001≤y≤0.20，0.0001≤z≤0.20，x+y+z＝1；MO为金属氧化物，M包含In、Zn和Ga中的至少一种；RO为稀土氧化物，RO包含氧化镨、氧化铽、氧化镝和氧化镱中的至少一种；TO为过渡族金属氧化物，TO包含氧化钒、氧化铌和氧化钽中的至少一种。本发明实施例提供了一种低成本的顶栅结构的金属氧化物薄膜晶体管。