本实用新型提供了一种大栅宽的GaN基微波功率器件。该器件包括AlGaN/GaN异质结外延层、覆盖在AlGaN/GaN异质结外延层上的第一介质层、长条状的源电极、鱼骨状分布的漏电极、环状的栅电极、隔离上下两层电极的第二介质层、互连金属电极pad。本实用新型制备的大栅宽的GaN基微波功率器件,输入信号的相移小、器件的寄生电容小、信号增益高、功率附加效率高、输出功率高,同时,器件的制造工艺简单,节省芯片面积,重复性好,适用于高频率、高功率的无线通信、雷达等领域。
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