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一种非晶氧化物柔性薄膜晶体管
交易价格:面谈
所属类型
实用新型专利
所属行业
H01-基本电器元件
所属国家
所属地域
PCT项
交易方式
  • 专利详情
  • 专利摘要
  • 主权利要求
  • 优先权项
  • PCT项
CN2017213125606
2017-10-12
实用新型专利
一种非晶氧化物柔性薄膜晶体管
华南理工大学
已授权

本实用新型属于显示器件领域,公开了一种非晶氧化物柔性薄膜晶体管。所述薄膜晶体管由依次层叠的玻璃基板、聚酰亚胺柔性基底层、SiO2缓冲层、源/漏电极、非晶掺硅氧化锡有源层、SiO2栅绝缘层,Si3N4栅绝缘层和栅极构成;其中,源/漏电极位于有源层和SiO2栅绝缘层两侧,Si3N4栅绝缘层覆盖于SiO2栅绝缘层上表面并与源/漏电极接触。本实用新型的TFT器件将功能层置于层叠结构的中心面,在弯曲时使得功能层(有源层)受到最低应力或者无应力,具有较强的抗弯折特性,可促进柔性电子器件的发展。

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