本实用新型属于显示器件领域,公开了一种非晶氧化物柔性薄膜晶体管。所述薄膜晶体管由依次层叠的玻璃基板、聚酰亚胺柔性基底层、SiO2缓冲层、源/漏电极、非晶掺硅氧化锡有源层、SiO2栅绝缘层,Si3N4栅绝缘层和栅极构成;其中,源/漏电极位于有源层和SiO2栅绝缘层两侧,Si3N4栅绝缘层覆盖于SiO2栅绝缘层上表面并与源/漏电极接触。本实用新型的TFT器件将功能层置于层叠结构的中心面,在弯曲时使得功能层(有源层)受到最低应力或者无应力,具有较强的抗弯折特性,可促进柔性电子器件的发展。
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