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一种带有GaN纳米线阵列的紫外探测器及其制作方法
交易价格:¥2.5万
所属类型
发明专利
所属行业
H02-电力发电、变电、配电
所属国家
中国大陆
所属地域
广东省-广州市-天河区
PCT项
交易方式
  • 专利详情
  • 专利摘要
  • 主权利要求
  • 优先权项
  • PCT项
201610936288.2
发明专利
中国大陆
一种带有GaN纳米线阵列的紫外探测器及其制作方法
华南师范大学
已授权

1. 本发明公开了一种带有GaN纳米线阵列的紫外探测器及其制作方法,包括衬底和PGaN薄膜层,所述PGaN薄膜层设置在衬底的上表面,所述PGaN薄膜层上生长有NGaN纳米线阵列,所述NGaN纳米线阵列中的NGaN纳米线与PGaN薄膜层之间形成有同质PN结。该方法包括通过旋涂玻璃液实现纳米线间隙填充绝缘,实现电注入;蒸镀透明导电层来扩展电流,实现纳米线阵列互联;并在所述PGaN薄膜层上设有P型欧姆电极,在所述透明导电层上设有N型欧姆电极,制成纳米线阵列紫外探测器。本发明具有成本低、灵敏度高、性能稳定、制作方法简单、便于在实际工作中操作等优点。本发明作为一种紫外探测器及其制作方法可广泛应用于紫外探测技术领域中。

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