本发明公开了一种II型GaSb/In0.53Ga0.47As量子点超晶格材料及其生长方法,该超晶格材第一层为生长在InP衬底上的In0.53Ga0.47As缓冲层,第二层为GaSb量子点,第三层为In0.53Ga0.47As缓冲层,第四层为GaSb量子点;其生长方法为先在InP衬底表面生长缓冲层后,生长4~5MLGaSb量子点,再生长缓冲层,最后再生长4~5MLGaSb量子点;本发明实现了采用MBE技术在InP衬底上以S-K模式生长获得GaSb/In0.53Ga0.47As量子点,其形貌质量好、光学性能佳;本发明方法有效避免了As-Sb互换,显著降低了晶格失配度和Ga原子迁移。
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