一种臭氧氧化和好氧反硝化脱氮的印染废水深度处理联合工艺。包括臭氧氧化反应器、加药系统、好氧反硝化反应器和自动控制系统。原水泵入臭氧氧化反应器，利用臭氧氧化废水中残留的难降解有机物为可生化的低分子有机物以及残留的绝大部分氨氮为硝酸盐氮后,进入好氧反硝化反应器脱氮。本发明的优点是利用臭氧氧化难降解有机物的产物作为后续脱氮的碳源，减少了外加碳源量；臭氧将绝大部分氨氮氧化为硝酸盐氮，省去了硝化反应段、无需补充硝化反应所需碱度。本联合工艺对印染污水处理厂的二级生化处理出水或中水回用系统的RO浓水，经臭氧氧化后直接进行好氧反硝化脱氮，实现去除水中残留难降解有机物和总氮的目的。