本发明属于有机光电材料技术领域，公开了一种惰性气体辅助纯化OLED材料或其中间体的方法与装置。该方法包括以下步骤：将需纯化的粗产品溶于溶剂中，然后置于有进出口的容器中，从进口通入惰性气体，从出口排出气体，待容器中体积减少且有晶体析出时，再继续通入惰性气体0?720min，然后停止通入气体，并保持密闭，静置，抽滤，将所得晶体烘干即得纯化后的OLED材料或其中间体。本发明将采用惰性气体六氟化硫作为载气将部分溶剂分子带走，使材料从液相中析出，通过控制气体流速，实现产物晶粒形貌控制。六氟化硫气体密度较大，能有效覆盖液面，带走溶剂分子。