本发明属于无机光引发剂材料领域，公开了一种表面改性纳米ZnO光引发剂及其制备方法。所述制备方法为：将纳米ZnO超声分散于有机溶剂中，然后滴加混有催化剂的二异氰酸酯，惰性气氛下搅拌反应；然后滴加混有催化剂、阻聚剂的羟基丙烯酸酯，继续搅拌反应，反应产物经分离、洗涤、干燥，得到表面改性纳米ZnO光引发剂。本发明表面改性之后的纳米ZnO可以更好地分散在有机相中，从而发挥无机光引发剂的功能，固化后无机粒子与有机相之间结合的更为紧密，具有更好的固化性能。