本申请公开了一种基于脚本控制的芯片测试方法、装置和系统，其特征在于，包括：主控制服务器启动测试平台，在测试平台中运行脚本，发送可编程仪器标准命令SCPI到信号源；信号源根据可编程仪器标准命令SCPI将产生的激励信号输送到待测集成电路；待测集成电路在激励信号的作用下改变电路状态；分析仪器检测待测集成电路的电路状态；主控制服务器发送可编程仪器标准命令SCPI到分析仪器，采集分析仪器检测的待测集成电路的电路状态数据。本申请公开的方法将脚本引入到测试过程中，脚本修改简便易行，大大减少了程序编制的难度和工作量，也提高了测试效率。